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Technical articles四探針電阻率測(cè)試儀 四探針電阻率檢測(cè)儀 型號(hào):DP-KDY-4
DP-KDY-4型四探針電阻率測(cè)試儀嚴(yán)格按照硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及家標(biāo)準(zhǔn),并針對(duì)目前常用的四探針電阻率測(cè)試儀存在的問(wèn)題加以改。
整套儀器有如下特點(diǎn):
1、配有雙數(shù)字表:塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí),另塊數(shù)字表適時(shí)監(jiān)測(cè)過(guò)程中的電流變化,使操作更簡(jiǎn)便,測(cè)量更。
數(shù)字電壓表量程:0—199.9mV 靈敏度:100μV 輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿(mǎn)度)
2、可測(cè)電阻率范圍:10—3 —1.9×103Ω·cm。
可測(cè)方塊電阻范圍:10—2 —1.9×104Ω/□。
3、設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí),電壓表零,只有1、4探針接觸到硅片,測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí),電壓表才示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。
4、流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由度穩(wěn)定(分之五度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機(jī)測(cè)量度<3%。
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器(>10次),在緣電阻、電流容量方面留有更大的安系數(shù),提了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。
6、四探針頭采用上的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測(cè)量重復(fù)性提